乾燥プロセスがリスクにならないようにしましょう
化学的な洗浄を行った後にMEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際、それは非常に危険な作業です。加熱装置が可燃性・爆発性の蒸気の真ん中にあるのです。
通常の赤外線ランプではダメです。わずかな火花やハウジングの微小なひび割れでも、大惨事につながります。そこで、私たちは特別な封止処理を施した赤外線ランプを作っています。これにより、電気部品を化学物質から隔離でき、安心して夜も眠れます。
密封構造と材料について
まず、ハウジングには高純度の石英ガラスを使用しています。これは耐久性が高く、急激な加熱や冷却にも耐えられます。
しかし、本当に重要なのは電極部分です。そこには特殊なガラスと金属の密閉構造が使われています。なぜかというと、揮発性の化学物質が通常の密封材を侵食してしまうからです。これにより、有害な物質が内部に入らないようになります。
次に配線についてです。すべての配線をフッ素系ポリマーで覆っています。これにより、腐食性のある洗剤が絶縁体を侵食し、短絡や接地不良が起こるのを防ぎます。また、通常の接着剤は使用せず、機械的な圧縮と工業用の封止剤を使ってしっかりと固定します。
熱、速度、そしてトレードオフ
センサーに化学物質が付着するのを防ぐためには、高強度の短波長赤外線が必要です。ウェーハを迅速に乾燥させる必要があります。
しかし、問題は、その高いエネルギーによってマウントブラケット部分で大量の熱が発生することです。適切な冷却システムが必要です。もしハウジング周辺の空気の流れが悪ければ、熱によって密封部が破損し、ランプの寿命が短くなってしまいます。これはバランスを取る必要がある問題です。
工場での使用について
3時間もかけて設置する時間はありません。ですから、迅速に交換できるように設計されています。コネクタはしっかりと固定されており、厳しい洗浄条件でも緩まることはありません。
お願いですが、接続する際には、ガスケットがしっかりと押し付けられているか必ず確認してください。もし密封が緩んでいれば、どんなに優秀な封止処理をしても意味がありません。
また、サイズも小さくしてあります。既存の乾燥モジュールに簡単に取り付けられます。