シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 正直に言って、ファブ内で赤外線ランプが破損するというのは、単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは本当の悪夢です。 石英管が過度な負荷に耐えられずに破損すると、単に電球が壊れるだけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェ...

乾燥プロセスがリスクにならないようにしましょう 化学的な洗浄を行った後にMEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際、それは非常に危険な作業です。加熱装置が可燃性・爆発性の蒸気の真ん中にあるのです。 通常の赤外線ランプではダメです。わずかな火花やハウジングの微小なひび割れでも、大惨事につながります。そ...

リソグラフィ工程では、状況はよく理解されている。ソフトベイク中の1℃未満の温度変動が、メトロロジーでしか検出されないライン幅の誤差を静かに引き起こす可能性がある。同様の熱変動は、ウェハーの乾燥工程をパーティクルや欠陥問題に変えることがある。Lab-on-a-Chip Drying Heaterは、...