もうヒーターを待つのはやめましょう：ウェーハ処理においてIR加熱がなぜ強制送風より優れているのか 半導体の高度な加工に従事している人なら、待つという行為がどれほどイライラするものかを知っているでしょう。 私たちの多くは、強制送風方式に慣れています。表面に熱い空気を当てて、望ましい結果が得られること...

私たちは、すべてのランプを徹底的にテストします。例外はありません。 ランプの電球が私たちの工場を出る前に、まず高電圧耐性試験や絶縁抵抗試験を受けます。一つ残らずです。 なぜでしょうか？スマートセンサーや赤外線ヒーターの分野では、わずかな絶縁不良でも大問題になります。それによってランプだけでなく、コ...

スマートファブでウェーハの温度を正しく制御する方法 スマートファブを構築する際、何かが壊れてから修理するのは最悪の状況です。常に現在の状態を把握しておく必要があります。そこで役立つのが赤外線センサーです。これらを使えば、ウェーハに触れることなくその表面の温度分布を把握できます。接触がないため、汚染...

乾燥プロセスがリスクにならないようにしましょう 化学的な洗浄を行った後にMEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際、それは非常に危険な作業です。加熱装置が可燃性・爆発性の蒸気の真ん中にあるのです。 通常の赤外線ランプではダメです。わずかな火花やハウジングの微小なひび割れでも、大惨事につながります。そ...

清潔を保つ：水素センサーの加熱における秘訣 クラス100のクリーンルームで働いたことがある人なら、そのストレスがどれほど大きいかを知っているでしょう。わずかなほこりや化学物質の粒子でも、一括りのセンサーを台無しにしてしまいます。本当に厄介です。 実際の問題は、ほとんどの加熱要素が汚れていることです...