製造工程における乾燥処理のエネルギー審査

シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 正直に言って、ファブ内で赤外線ランプが破損するというのは、単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは本当の悪夢です。 石英管が過度な負荷に耐えられずに破損すると、単に電球が壊れるだけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェ...