キヤノンリソグラフィ用ヒーターバルブ

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度の温度変動があっても、重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。このような温度変動は、プロセスに微妙な影響を与えるだけでなく、ウェーハを廃棄品にしてしまいます。そのため、私たちはキヤノンのリソグラフィー用ヒーターバルブを設計する際...