RTPヒーターランプの交換方法

ライン上にRTPチャンバーが待機しています。1つのランプが点滅し始め、温度が変動し、フォトレジストの焼成が計画から外れます。ライン幅が揺らぎ始めるのを見ながら、スケジューラーは厳しくなります。私たちは、このドリフトを捉えるために交換用ランプを設計しました。 技術的に重要なこと 私たちは、迅速な熱応...