シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る 正直に言って、ファブ内で赤外線ランプが破損するというのは、単なる「メンテナンス上の問題」ではありません。それは本当の悪夢です。 石英管が過度な負荷に耐えられずに破損すると、単に電球が壊れるだけでなく、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェ...

なぜ、IRランプのテストにおいてランダムサンプリングを行わないのか？ 産業用の赤外線硬化ランプは、極めて過酷な環境で動作します。ほとんどの物質が溶けてしまうような高温にさらされるのです。 もしそのようなランプを高性能な硬化装置やPET成形機に接続すると、どれだけ重大な事態になるかは明らかです。わず...

高価な装置をオーブンのように使わないでください 一般的な加熱素子は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度にわたってエネルギーが散逸してしまうのです。半導体製造用の装置では、スペースが限られているため、これは大きな問題となります。その余分な熱が装置の内壁に当たってしまうのです。 そ...

IR加熱装置をクラス100の基準に合致させるために 半導体製造工場やクラス100の清浄室で作業を行う際、熱は問題の半分に過ぎません。本当の問題は、粒子です。 ほとんどの一般的な加熱要素は、こうした環境では役に立ちません。加熱や冷却の際に剥がれ落ちたり、ガスが発生したりするからです。これを防ぐために...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 もし、あなたがクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その手順はすでにご存知でしょう。ここでは、わずかなミスでも許されません。ちょっとした破片やガスの飛散だけで、作業中のウェーハ全体がダメになってしまいます。 問題は、ほとんどの...

なぜ半導体の硬化処理に炭素繊維式赤外線ランプを使用するのか？ 半導体製造工場では、「清潔さ」は単なる好みではなく、必須条件です。部品にはほんのわずかな汚れも許されません。 長い間、人々は対流式オーブンを使ってきました。しかし問題点は、空気を加熱してしまうことです。空気にはほこりが含まれており、莫大...

なぜ私たちはオーブンを使わずに赤外線を利用するのか 長い間、半導体の乾燥や硬化処理には大規模な対流式オーブンが使われてきました。しかし、今ではその状況が変わりつつあります。ほとんどの場合、赤外線を利用したシステムが採用されています。これは単に「環境保護」や「鉛フリー化」といった規制を守るためだけで...

はじめに 私たちは、アメリカや日本の高価な製品に代わるものとして、中国でこのファブヒーターを開発しました。つまり、トップクラスのブランドが持つ性能や信頼性を実現しつつ、長期的なコストを抑えることができるのです。 電力設計：なぜ効果的か この装置の電力設計のポイントは、高電圧・高密度の方式を採用して...

ファブ内では、フォトレジストの焼成温度が1℃変動するだけで、回路線幅に影響が出ます。均一でない乾燥処理を行うと、歩留まりを低下させる原因となります。そのため、先進的なウェーハ製造ラインでは、このようなズレを防ぐためにゾーン別加熱方式が採用されています。 技術的に重要なのは何か ハロゲンやNIRを利...