クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
もし、あなたがクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、その手順はすでにご存知でしょう。ここでは、わずかなミスでも許されません。ちょっとした破片やガスの飛散だけで、作業中のウェーハ全体がダメになってしまいます。
問題は、ほとんどの加熱素子がこのような環境には適していないということです。それらはすぐに壊れたり、VOCを漏らしたりします。つまり、汚染物質を放出する「小さな発射器」として機能してしまうのです。私たちは、高純度の合成石英を使用したIRランプを使うことで、より良い解決策を見出しました。
石英が重要な理由
一般的に、工業用のランプは「標準的な」石英を使用しています。普通の工場では問題ありませんが、クリーンルームでは、わずかな金属不純物でも基板に付着してしまいます。
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融合シリカを使用しています。高温になっても壊れることはなく、また、管の表面に残留物が残らないように丁寧に洗浄しています。
さらに、これらのランプは短波長のIRを使用しているため、長波長の熱よりも速く基板に熱が伝わります。その結果、温度上昇にかかる時間が大幅に短縮されます。とても速いのです。そして、それによって生産ラインが止まることがありません。
製造時の詳細
私たちは、単にガラスのことだけを考えているわけではありません。通常、故障しやすい部分も考慮しています。
私たちは、金メッキされた電極や特殊な合金製の電極を使用しています。なぜかというと、接続部での酸化が大きな問題になるからです。また、高温でも煙を出したり劣化しない高耐久性のリード線も使用しています。最初の使用時に何か問題が起きる心配もありません。
設置時に注意すべき点としては、ワット密度をしっかり把握することです。高出力のランプは非常に強力な熱を発生させますが、冷却装置がその温度上昇に対応できるか確認する必要があります。換気が悪ければ、ランプ自体が壊れてしまいます。
実際の現場での利用方法
これらのランプは、硬化や乾燥、アニーリングの工程に直接取り替えて使用できます。
最も良い点は、有機系のバインダーを除去していることです。つまり、ランプから粒子が放出されることがないのです。安定した熱が得られ、生産ラインが汚染される心配もありません。
ただし、電源の電圧が合っているか必ず確認してください。間違えると、使用開始前にフィラメントが壊れてしまいます。