なぜ対流式オーブンではなく、IR硬化法を使うのか？ 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、対流式オーブンの問題点をよく知っているでしょう。大きくて重く、速度も遅い上に、数枚のウェーハを乾燥させるためだけに部屋全体を加熱する必要があります。これは明らかに無駄です。 そのため、私たちはIR硬化...

クリーンルーム内の発熱問題を解決しよう インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する際、発熱は非常に厄介な問題であることがわかるでしょう。従来型の対流式オーブンは、過度に空気を循環させるため、粒子を飛ばしてしまい、処理時間が長くなってしまいます。 私たちは赤外線ヒーターを採用しました。これに...

空気を加熱するのをやめよう：半導体の熱処理におけるより効率的な方法 従来の対流式オーブンについて言えば、それは単なる巨大な箱に過ぎず、ウェハーが実際に熱を感じる前に大量のエネルギーが無駄に使われてしまいます。これは非効率的です。 だからこそ、私たちはIRランプを用いるようになったのです。部屋全体を...