半導体ヒーター用熱電対

もう、装置を加熱するのはやめて、ウェーハ自体を直接加熱しましょう。 半導体製造装置の外側に触れて、肌が熱くなるのを感じたことはありませんか？それが「ホットソーク」という現象です。一般的な対流式ヒーターは、空気中に熱を送り込むだけです。その結果、高価な装置が不要なエネルギーを吸収してしまい、電力の無...