クリーンルーム内の発熱問題を解決しよう
インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する際、発熱は非常に厄介な問題であることがわかるでしょう。従来型の対流式オーブンは、過度に空気を循環させるため、粒子を飛ばしてしまい、処理時間が長くなってしまいます。
私たちは赤外線ヒーターを採用しました。これにより、空気を全く使わずにエネルギーを伝達できます。その結果、クリーンルーム内は静かで安定した状態を保ち、加熱時間も半分に短縮されます。これは大変便利です。
必要なデータを正確に取得する
デジタル生産の品質は、センサーから得られるデータの質に依存します。赤外線ヒーターの利点は、ほぼ即座に動作する点です。スイッチを入れるだけで、すぐに加熱が始まります。
PIDコントローラーを備えたPLCに接続すれば、リアルタイムの温度情報が得られます。大量の空気が温まるのを待つ必要はなく、センサーが数ミリ秒以内に温度変化を検出します。これこそが、デジタルツインや自動化システムを実際の現場で機能させるための唯一の方法です。
スペースを節約しつつ、パワーを維持する
クリーンルームの床面積は貴重です。私たちは、1平方インチあたりでできるだけ多くの熱を生み出すように設計しました。特定の波長を利用することで、オーブンのサイズを小さくできます。同じスペースでより多くの部品を処理できます。ただし、高出力のヒーターは強力な熱を発するため、電力供給や冷却システムをしっかり確認する必要があります。キャビネットの換気が不十分だと、熱がこもり、周囲のセンサーが故障する可能性があります。
クリーンな環境での使用を実現する
私たちは、赤外線ヒーターからガスや粒子が放出されないようにしました。強制送風装置がないため、故障しやすい機械部品もなく、乱流も発生しません。ヒーターからウェハーへの熱伝達が直接行われます。均一に加熱できない旧式のオーブンを使っているなら、これが最善の解決策です。また、完全な自動化を目指す場合、ロボットが対応できる速度を実現するためには、赤外線ヒーターが不可欠です。