半導体用金コーティング赤外線ランプ
金メッキされた赤外線ランプが予算を食い尽くすのを防ぐ方法
半導体製造工場では、非常に正確な温度制御が求められます。そのために、金メッキされた短波長赤外線ランプが使用されます。金の層が熱を前方に反射させ、ウエハーに直接届けるのです。
しかし、問題点もあります。高真空やクリーンルーム環境下で作業する際...
ツインチューブ型金メッキランプ
熱の無駄遣いをやめよう:なぜ金コーティングされたツインチューブランプが効果的なのか
半導体ウエハーの加工において、エネルギーを無駄にすることは、実質的にお金を無駄にしていることに他なりません。もし熱がウエハーに届かず、チャンバーの壁に逃げてしまうなら、それは損失です。そこで役立つのが、金コーティン...