ウェーハツール用温度センサー

スマートファブでウェーハの温度を正しく制御する方法 スマートファブを構築する際、何かが壊れてから修理するのは最悪の状況です。常に現在の状態を把握しておく必要があります。そこで役立つのが赤外線センサーです。これらを使えば、ウェーハに触れることなくその表面の温度分布を把握できます。接触がないため、汚染...