高価な装置をオーブンのように使わないでください
一般的な加熱素子は、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度にわたってエネルギーが散逸してしまうのです。半導体製造用の装置では、スペースが限られているため、これは大きな問題となります。その余分な熱が装置の内壁に当たってしまうのです。
その結果、装置の内壁が高温になってしまいます。これは作業員にとって危険な状況であり、またエネルギーの無駄遣いにもなります。実際にはウェハーの加熱だけが目的なのに、装置のシャーシ全体が熱くなってしまいます。
解決策はとても簡単です：指向性のあるIR光源を使用することです。
これは、普通の電球から懐中電灯に切り替えるのと同じです。熱をあちこちに散らす代わりに、指向性のあるIR光源は反射材や特別なコーティングを利用して、エネルギーを必要な場所に集中させます。
そうすれば、エネルギーはウェハーや基板上に直接当たり、そこに留まります。装置の内壁は余分な熱を吸収しないので、装置の内部がサウナのようになることはありません。
なぜこれが重要なのか
このような光源を選ぶ際には、「放射角度」が最も重要です。ビームが狭ければ、余分な放射も少なくなります。
装置のメンテナンスを行う人やウェハーを装着する人にとっては、これは大変有益です。パネルを開けるたびに火傷のリスクがなくなります。また、施設の冷却システムも負担を軽減できます。本来熱くなるべきでない部分を冷却し続ける必要がなくなるのです。
注意点（必ずあるものです）
もちろん、これは魔法の杖ではありません。エネルギーをこんなに集中させると、位置合わせが完璧でない場合に「ホットスポット」が発生する可能性があります。
取り付けブラケットはしっかりしていなければなりません。もしランプが数ミリでもずれると、ターゲットエリアを外してしまったり、ウェハー全体に不均一な加熱が起こったりするかもしれません。
私のアドバイスは、ランプを交換した後は必ず校正を行うことです。1分ほどしかかかりませんが、それによって大量のウェハーが台無しになるのを防げます。