クラス100のクリーンルームで、汚染を避けつつ加熱処理を行うにはどうすればよいか？ クラス100のクリーンルームを運営している人なら、その重要性は重々理解しているでしょう。わずかなほこりや、ヒーターから飛び散る微細な破片だけでも、全体の製品の品質を台無しにしてしまいます。通常の抵抗式ヒーターでは、...

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際にわずか0.5度の温度変動があっても、重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。このような温度変動は、プロセスに微妙な影響を与えるだけでなく、ウェーハを廃棄品にしてしまいます。そのため、私たちはキヤノンのリソグラフィー用ヒーターバルブを設計する際...