ストップランプの破損が製品品質を損なうのを防ぐ 大量生産を行う半導体工場では、ランプが破損するというのは単なる「メンテナンス上の問題」に過ぎません。それはまさに悪夢です。 考えてみてください：石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハの上に落下してしまいます。一度でも破...

安全を守るために：湿気の多い場所でのヒーターの使用について もし、赤外線ヒーターをバスルームや蒸気が多く発生する場所に設置する場合、単なる「防水カバー」だけでは不十分です。結露の問題にも対処しなければなりません。蒸気が電気ケーブルの端子部分で再び水に変わると、そこが危険な場所になってしまいます。...

ファブ内では、フォトレジストの焼成温度が1℃変動するだけで、回路線幅に影響が出ます。均一でない乾燥処理を行うと、歩留まりを低下させる原因となります。そのため、先進的なウェーハ製造ラインでは、このようなズレを防ぐためにゾーン別加熱方式が採用されています。 技術的に重要なのは何か ハロゲンやNIRを利...

製造現場において、フォトレジストの焼成やエピタキシャル成長の過程で生じる温度変動は、単に生産効率を低下させるだけではありません。それによって歩留まりも悪化します。工程手順に従って、正確な場所に熱を供給することが不可欠です。 技術的に重要な点 当社のエピタキシャル成長用赤外線ランプは、高速かつ方向性...

リソグラフィフロアでは、300mmウェハ上に数千のダイが配置されており、熱予算に対して一秒たりとも無駄にできない。ソフトベイクで0.3°Cのずれが生じると、クリティカルディメンションが変動し、ハードベイクでエッジが過熱するとスカミングが発生し始める。ウェハ加熱の安全距離は余裕ではなく、歩留まりが低...