ライン上では、その柔軟性のあるエレクトロニクスウェーハが、線幅制御を実現するための適切な加熱処理を待っています。わずか数十分の一度の温度変動でも、フォトレジストの形状が変わってしまい、結果として製品に潜在的な欠陥が生じてしまいます。私たちは、このようなばらつきを排除するために、専用のヒーターを開発しました。
重要な点 石英ハロゲン光源を使用した短波赤外線を利用し、ループ制御によって、ウェーハ全体の均一性を±0.1℃以内に保ちます。照射ごとの再現性も±0.05℃以内であり、毎回同じ条件で加熱処理が行われます。ホットゾーンはクラス1～100の清浄室向けに設計されており、表面処理や材料も選定されているため、安定した運転中に粒子が発生することはありません。ソフトベイクとハードベイクのプロセスも、厳格な温度制御によって実行され、システムは各運転の記録を残すことで完全なトレーサビリティを実現します。
なぜ柔軟性のあるエレクトロニクスに適しているのか これらの基板上では、安定した均一な加熱処理が不可欠です。そうすることで、フォトレジストの厚みが一定になり、クリティカルサイズの制御がより正確に行え、リソグラフィーの再作業も減少します。高速な温度調整により、無駄な時間が削減され、サイクルタイムが短縮されます。また、消費電力は運転時の熱量に応じて調整されるため、ウェーハあたりの運用コストも削減されます。信頼性とは、予期しない停止やメンテナンスによるスケジュールの乱れがないことを意味します。
正常に動作させるために必要なもの ヒーターは、安定した電力供給と、ランプの出力を保ち、温度を適切に管理するための排気システムが必要です。標準的なインターフェースで動作しますが、古いプラットフォームに導入する場合は、機械的・電気的な改修が必要になります。その改修は、計画されたメンテナンス時に行うべきです。生産活動に支障が出ないようにしてください。