RTP 히터 램프 교체 방법

라인 현장에서는 RTP 챔버가 대기 중입니다. 한 개의 램프가 깜박이기 시작하고, 온도가 변동하며, 포토레지스트 베이크가 경로를 벗어납니다. 스케줄러가 촉박해지는 가운데, 선폭이 흔들리기 시작하는 것을 관찰하게 됩니다. 우리는 이 변동을 비용이 발생하기 전에 감지할...