유연 전자제품용 웨이퍼 히터

라인 위에서는, 그 유연한 전자소자 웨이퍼가 선폭 제어를 위한 적절한 가열 과정을 기다리고 있습니다. 온도가 몇 십 분의 일만 변해도 포토레지스트의 프로파일이 변할 수 있으며, 그 결과 웨이퍼에 잠재적인 결함이 생길 수 있습니다. 우리는 이러한 변동성을 없애기 위해...