칩 내 실험실 건조 히터

리소그래피 현장에서의 이야기 부드러운 베이킹 중 1°C의 변동이 있을 경우, 이는 측정에서만 나타나는 선폭 오류를 조용히 인쇄할 수 있습니다. 동일한 열 드리프트가 웨이퍼 건조를 입자 및 결함 문제로 전환할 수 있습니다. 우리는 이러한 드리프트가 시작되는 곳에서 멈출...