기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요. 반도체 제조 공정에서 반도체 처리실의 벽면을 만져보면 피부가 타는 듯한 느낌이 드는 적이 있나요? 그것이 바로 ‘열 축적’ 현상입니다. 일반적인 대류식 히터는 열을 공기 중으로만 방출하기 때문에, 비싼 장비가 필요 없는...

금 도금 처리된 적외선 램프가 예산을 초과하게 되는 것을 막는 방법 반도체 제조 공장에서는 매우 정확한 온도 조절이 필요합니다. 이를 위해 금 도금 처리된 단파 적외선 램프를 사용합니다. 금층이 열을 반사시켜 웨이퍼에 직접 전달해주는 역할을 합니다. 하지만 문제는,...

램프가 파손되어 제품이 망가지는 것을 막아야 합니다 대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서 램프가 파손된다는 것은 단순한 “정비 문제”가 아닙니다. 그것은 재앙과 같은 상황입니다. 생각해보세요: 석영관이 깨지면 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다....

더 이상 히터를 기다릴 필요는 없습니다: 왜 적외선 가열이 열공기 가열보다 낫은가? 여전히 많은 반도체 생산 라인에서 열공기를 이용하는 방식이 사용되고 있습니다. 이건 구식의 방법이며, 솔직히 말해서 효율이 형편없습니다. 문제는 바로 ‘기다리는 시간’입니다. 공기는...

서론 클린룸에서의 경화 과정에서는 열이 반드시 필요하며, 그 열도 빠르게 공급되어야 합니다. 하지만 공간적 제약은 절대 용납될 수 없습니다. 바로 이러한 요구사항을 충족시키기 위해 우리는 이 트롤리형 히터를 개발했습니다. 우리는 적외선 할로겐 가열 방식을 선택했습니다...