웨이퍼 공정용 온도 센서

스마트 팹에서 웨이퍼의 온도를 정확하게 관리하는 방법 스마트 팹을 구축한다면, 문제가 생겼을 때 그때서야 수리하는 것은 엄청난 골칫거리라는 것을 알고 있을 것입니다. 현재 무슨 일이 일어나고 있는지 바로 알아야 합니다. 바로 이럴 때 적외선(IR) 시스템이 유용합니다...