첨단 웨이퍼 제조 공장을 위한 구역별 난방 시스템

팹 내에서는 포토레지스트를 가열할 때 온도가 1°C만 변동해도 회로선의 굵기에 영향을 미칩니다. 균일하지 않은 건조 과정은 수율을 크게 저하시키는 원인이 됩니다. 우리는 첨단 웨이퍼 제조 공장에 구역별 가열 시스템을 도입하여 이러한 문제들을 사전에 방지합니다. 기술적...