웨이퍼 건조 과정에서 석영관이 파손되는 것을 막는 방법 솔직히 말해, 웨이퍼 제조 과정에서 적외선 램프가 파손되면 그건 단순한 “유지보수 문제”가 아닙니다. 그건 진짜 재앙입니다. 유리 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어지는 것이죠. 한 번만 파손되어도 전체 웨...

팹 내에서 웨이퍼의 온도가 0.1°C만 변해도, 그로 인해 웨이퍼의 치수가 나노미터 단위로 변할 수 있습니다. 또한 이로 인해 입자 수도 증가하게 됩니다. 일반적인 가열판이나 대류 오븐은 부드러운 가열 과정이나 강력한 가열 과정에서도 온도를 일정하게 유지하는 데 어려...