파편의 위험을 막아야 합니다: 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하기 솔직히 말해서, 팹 내에서 적외선 램프가 파손되는 것은 단순한 “유지보수 문제”가 아닙니다. 그건 진정한 악몽입니다. 쿼츠 관이 과도한 부하로 인해 파손될 때, 우리는 단순히 전구를 잃는 것뿐만 아니라...

건조 과정이 위험 요소가 되지 않도록 하세요 화학적 세척 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 매우 위험한 상황에 처하게 됩니다. 가열 장치가 가연성이 있고 폭발성인 증기들 바로 중간에 위치해 있기 때문입니다. 일반적인 적외선 램프라면 절대 사용해서는 안 됩니다....

리소그래피 현장에서의 이야기 부드러운 베이킹 중 1°C의 변동이 있을 경우, 이는 측정에서만 나타나는 선폭 오류를 조용히 인쇄할 수 있습니다. 동일한 열 드리프트가 웨이퍼 건조를 입자 및 결함 문제로 전환할 수 있습니다. 우리는 이러한 드리프트가 시작되는 곳에서 멈출...