캐논 리소그래피 히터 전구

생산 현장에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 단 0.5도의 온도 변화만으로도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 이런 오차는 단순히 공정에 약간의 영향을 미치는 것이 아니라, 웨이퍼를 폐기물로 만들어버립니다. 그래서 저희는 캐논 리소그래피 히터를 설계할 때,...