램프가 파손되어 제품이 망가지는 것을 막아야 합니다
대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서 램프가 파손된다는 것은 단순한 “정비 문제”가 아닙니다. 그것은 재앙과 같은 상황입니다.
생각해보세요: 석영관이 깨지면 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 한 번만 파손되어도 전체 웨이퍼가 폐기됩니다. 그래서 우리는 적외선 가열 시스템을 사용하여, 그러한 오염물질들이 제품에 닿기 전에 미리 제거합니다.
램프가 왜 파손되는가?
고출력 램프는 엄청난 압력을 받습니다. 램프는 계속해서 가열되고 냉각되기 때문에, 재료에 큰 부담이 가해집니다. 석영관에 아주 작은 결함이 있거나, 열이 고르게 분배되지 않으면 균열이 생깁니다.
기본적으로 이렇게 되면 램프가 파손됩니다.
우리는 고순도의 융합 석영을 사용하여 이 문제를 해결합니다. 우리는 열이 통과하면서도 내구성을 유지할 수 있는 최적의 벽 두께를 찾기 위해 많은 시간을 들였습니다. 단순히 출력을 높여서 해결하려 하지 않고, 공정에서 발생하는 열 변화를 견딜 수 있도록 각 램프를 세심하게 설계합니다.
오염물질을 막는 방법
웨이퍼를 깨끗하게 유지하기 위해, 우리는 간단한 물리적 방법을 사용합니다.
램프를 특수한 보호 커버 안에 넣습니다. 이 커버는 정밀하게 설계된 보호 장치로서, 램프가 파손될 경우 그 파편들을 가둡니다. 물론 파손된 램프는 교체해야 하지만, 웨이퍼는 여전히 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
또한 연결부도 중요합니다. 연결부가 제대로 고정되지 않으면 아크가 발생하여 과열이 생기고, 그로 인해 램프가 조기에 파손될 수 있습니다. 우리는 전기적 접촉이 완벽하도록 엄격한 허용 오차를 가진 부품들을 사용합니다.
절충점
솔직히 말해서, 보호 커버를 사용하면 적외선 전달이 약간 방해받습니다. 직접적인 열이 조금 줄어듭니다.
이를 보완하기 위해 전력 설정을 조정하거나, 약간의 시간을 더 주어야 할 수도 있습니다. 하지만 솔직히 말해서, 몇 조각의 유리 조각 때문에 전체 웨이퍼를 폐기해야 하는 것보다는 이 정도의 희생은 아주 작은 대가입니다.