포토레지스트 베이킹 램프

리소그래피 층에서 배우는 빠른 교훈: 소프트 베이크가 0.3°C만 벗어나도 CD 바이어스로 나타나고, 하드 베이크가 반복되지 않으면 그 편차가 모든 웨이퍼에 기록된다. 포토레지스트 베이킹은 단순한 열 처리 절차가 아니다. 이는 공정의 경계 조건이다. 램프 성능이 떨어...