웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

리소그래피 작업장에서는 300mm 웨이퍼에 수천 개의 다이가 실리며, 매 순간이 열 예산에 영향을 미친다. 0.3°C만큼의 소프트 베이크 온도 변동도 크리티컬 치수를 변화시킬 수 있고, 가장자리에서 온도가 과도한 하드 베이크는 스커밍 현상을 초래한다. 웨이퍼 가열 시...