커스텀 100 수준의 IR 난방 시스템을 만드는 방법 반도체 공장이나 커스텀 100 등급의 청정실에서 작업할 때, 열은 문제의 절반에 불과합니다. 진짜 문제는 바로 미세한 입자들입니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이러한 환경에서는 사용하기에 적합하지 않습니다....

생산 현장에서는 어떻게 되는지 아시죠. 포토레지스트를 가열할 때 온도가 단 몇 도만 벗어나도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 웨이퍼의 온도 제어는 단순한 파라미터가 아니라, 제품의 품질을 결정하는 중요한 요소입니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 적외선 석...