在智能工厂中准确控制晶圆的温度
如果你正在建设智能工厂，那你一定明白：等到问题出现后再去解决简直是噩梦。你需要实时了解当前的情况。这就是红外线系统发挥作用的地方。我们使用红外线系统，因为它们能够无需直接接触晶圆就能检测出其表面的温度分布。无需接触，也就不会造成污染。非常简单。
为什么非接触式测量如此重要
想想传统的热电偶吧——它们必须与晶圆表面接触，这无疑会带来很多麻烦。这样做不仅有可能造成机械应力，还可能让颗粒掉落到晶圆上。
而使用红外线测温仪的话，我们就可以直接监测晶圆发出的热辐射。这种方式更为精准。这些传感器会输出信号，这些信号可以直接接入PLC或SCADA系统中。这样，你就可以获得实时的温度分布图了。这是检测快速热处理过程中那些“冷点”的唯一有效方法。
如何让数据真正发挥作用
单凭传感器本身还远远不够。真正的关键在于如何将传感器与数据处理系统连接起来。
我们设计的红外线系统具有很强的抗干扰能力。我们知道，蚀刻或CVD工艺环境中存在大量电磁干扰，但这些干扰并不会影响数据传输。一旦把热能转化为数字数据，就可以建立有效的反馈机制。如果温度出现2℃的偏差，系统会立刻调整电源参数。无需人工干预。
现实中的挑战
当然，一切都并非完美无缺的。还是有一些需要考虑的因素。
红外线传感器对材料的发射率很敏感。如果晶圆表面的涂层发生变化，或者腔室内的气体流动不稳定，那么测量结果就会出错。这时就需要花时间调整软件设置，否则就会得到错误的数据。
还有一点：一定要保持传感器的窗口清洁。如果石英端口被污垢堵塞，信号就会受阻，从而导致温度测量不准确。只要保持玻璃表面清洁，一切就都好了。