晶圆加工设备用温度传感器

在智能工厂中准确控制晶圆的温度 如果你正在建设智能工厂，那你一定明白：等到问题出现后再去解决简直是噩梦。你需要实时了解当前的情况。这就是红外线系统发挥作用的地方。我们使用红外线系统，因为它们能够无需直接接触晶圆就能检测出其表面的温度分布。无需接触，也就不会造成污染。非常简单。 为什么非接触式测量如...