高能效晶圆加热器

为何我们如此重视晶圆加热器中的电气安全问题 在处理硅材料时，不存在“足够安全”的概念。哪怕是微小的电气泄漏，也可能毁掉整批晶圆，或者让整个系统停止运转。因此，我们绝不能冒险。每一个离开我们工厂的加热元件，都必须经过严格的耐高压测试和绝缘电阻测试。 寻找那些看不见的缺陷 我们通过高电压测试来检测绝缘...