用于晶圆的精密红外传感器

别再等待加热器启动了：为何在晶圆加工中红外加热比强制对流加热更优 如果你有过在半导体深度加工领域工作的经历，那么你一定明白“等待”的烦人之处。我们大多数人习惯使用强制对流加热方式——通过让热空气吹过待加热表面来达到加热效果。但问题在于，这种方式效率极低。你得等待空气变热，然后再等待热量渗透到硅片中...