用于半导体加热器的热电偶

停止给整个设备加热，而是直接为晶圆加热吧。 你有没有曾经触摸过半导体生产设备的表面，然后感觉到皮肤被灼烧的痛感？那就是“热辐射”的表现。大多数传统的对流式加热器只是将热量散布到空气中，这意味着昂贵的设备有一半的时间都在浪费能量。这不仅浪费电力，还会使设备外壳变得过于危险地烫。 我们找到了更好的方法...