柔性电子晶圆加热器

在生产线上，那些柔性电子芯片正等待着恰到好处的加热处理，这样才能确保线宽控制精度。即使温度偏差只有几十分之一摄氏度，也足以改变光刻胶的厚度，从而导致产品出现缺陷。我们设计的柔性电子芯片加热器，正是为了解决这种不确定性问题而产生的。 关键在于精确的温度控制 我们使用石英-卤素光源产生的短波红外光，并...