外延生长用红外加热灯

在晶圆制造过程中，光刻胶烘烤或外延生长过程中产生的热偏差，不仅会影响生产效率，还会降低产品的良率。因此，需要将热量精确地施加到工艺要求的位置上，且这一过程需要持续重复进行。 技术上的关键点 我们的外延生长用红外灯能够发出快速、定向的能量，且具有出色的控制精度。短波红外线能够有效传递到薄膜和晶圆表面...