MEMS传感器晶圆干燥加热器

切勿让干燥过程变成隐患 在化学清洗后对MEMS传感器芯片进行干燥处理时，其实是在冒险。因为加热元件就位于易燃易爆的蒸汽之中。 普通的红外灯可不行——哪怕有那么一点火花或外壳出现裂纹，都可能引发灾难。因此，我们会使用特殊封装技术来保护这些红外灯的电气部件，这样就能确保设备的安全运行。 封装与材料的细...