让红外加热器达到100级洁净标准 在半导体制造厂或100级洁净室中工作时，热量只是问题的一半。真正的难题在于各种颗粒物。 大多数普通的加热元件在这种环境下根本无法使用——它们在加热和冷却过程中容易碎裂或释放出有害气体。为避免这种情况影响工作质量，我们使用高纯度的石英玻璃作为防护层。 为何选择石英？...

在光刻工厂里，情况其实很简单。如果光阻烘烤过程中的温度偏差哪怕只有几分之一度，都可能导致产品尺寸不符合标准，进而让整批产品报废。晶圆的温度控制并非一个次要的参数——它直接决定了产品能否合格或变成废品。我们设计的红外石英灯能够精确控制温度，确保在需要加热的位置提供稳定的热量。 从技术上来看，关键点很...