在潮湿的工作台上，冲洗阶段正是成品率下降的隐患所在。如果冲洗过程中存在温度不均或局部过冷的情况，就容易产生水印、残留物，还会导致光刻胶出现不可控的应力现象。因此，需要的是一种能够实现精准控制、且均匀度高的加热方式。 红外加热的精确度：亚毫米级的一致性与重复性 我们使用的防水型红外线灯能够产生稳定的...

在制造车间，SRD循环是产量形成的关键点——或者是产量悄悄流失的地方。一次冲洗如果留下微小液滴，或者一次干燥使晶圆产生应力，就会转化为缺陷和废品。你Spin Rinse Dryer里的红外灯不仅仅是加热器，它是设定干燥边界的热致动器。如果输出波动或均匀性失控，光刻和光刻胶处理中的重复性也会随之丧失...