让红外加热器达到100级洁净标准
在半导体制造厂或100级洁净室中工作时，热量只是问题的一半。真正的难题在于各种颗粒物。
大多数普通的加热元件在这种环境下根本无法使用——它们在加热和冷却过程中容易碎裂或释放出有害气体。为避免这种情况影响工作质量，我们使用高纯度的石英玻璃作为防护层。
为何选择石英？
普通玻璃中含有大量的硼和碱性物质。当温度升高时，这些杂质会扩散开来，这显然不是好事。而熔融石英则极为纯净，它能形成一道坚固的屏障，将加热元件与被加热的工件隔开，从而防止金属碎片进入加工区域。此外，熔融石英还非常坚固，能够承受快速的加热和冷却过程而不出现裂缝。对于高功率的红外灯来说，其产生的短波辐射可以顺利穿过石英玻璃，而不会被吸收或反射。
消除污染的设计理念
我们完全避免了使用粘合剂和有机粘合材料。因为这些材料会在使用过程中燃烧，从而在晶圆上留下有害的化学残留物。没人希望出现这种情况。此外，我们还会对每一个边缘进行精确研磨，这样可以消除那些容易积聚灰尘的微小裂纹。
**一个小贴士：**请检查安装支架是否稳固。如果支架不稳定，那么整个系统就会失效。建议使用不锈钢或PTFE材质的支架，这样就能防止石英玻璃被刮伤，从而避免产生大量石英粉尘。
现实中的权衡
虽然高纯度石英在化学性质上较为稳定，但它终究还是玻璃。它能够承受一定的热冲击，但如果受到重击的话，它就会破碎。因此，必须确保外壳的设计能够避免金属直接接触石英玻璃。留出一定的间隙非常重要。
**最后一点：**即便是最优质的防护层，也会随着时间的推移而附着表面污渍。为了保持较高的传输效率，建议定期用电子级异丙醇进行清洁。只要保持其表面光亮，它就能继续正常工作。