保持清洁：氢气传感器加热的秘诀
如果您曾在100级洁净室中工作过，就会明白其中的压力有多大。哪怕只有一点点灰尘或化学物质进入，都可能毁掉整批传感器。这简直就是一场噩梦。
真正的麻烦在于：大多数加热元件都很脏。一旦开始加热，它们就会释放出各种颗粒物或有害气体。为了解决这个问题，我们改用了高纯度的石英红外灯。
对抗“烧损”问题
我们使用合成熔融硅来制作灯罩。因为普通玻璃根本无法满足要求——低品质的材料在受热时容易释放出金属杂质。而使用高纯度石英的话，就无需担心这种令人烦恼的“烧损”现象了。只要打开灯光，它就能立刻开始工作。这才是确保在材料固化或沉积过程中空气保持完全清洁的唯一方法。
无风加热
最棒的是，这类灯具使用的是短波红外线能量。热量通过辐射的方式传递，而不需要依靠对流。这样一来，就不会有空气流动，自然也就不会有颗粒物落在传感器的敏感区域上。热量可以直接作用于目标物体上。
需要注意的问题
不过，这也并非没有挑战。高纯度石英虽然比玻璃更耐热，但仍比较脆。如果固定装置太紧，石英管在受热膨胀时就会断裂。因此，必须给石英管留出一定的空间。
我们通常将这些灯具安装在真空室或可控环境箱中。但由于热量非常集中，所以必须注意冷却措施。要确保风扇能够将热量从灯具末端带走。如果连接处过热，它们就会熔化。而如果端盖也过热，那么灯具的寿命也会大大缩短。