光刻胶烘烤灯

在光刻车间，你学得很快：即使软烘烤温度漂移0.3℃，也会表现为CD偏差；而硬烘烤无法重复，则会将相同的漂移写入每片晶圆。光刻胶烘烤不仅仅是一个热处理程序。它是一个工艺边界。当灯管性能不足时，你不仅是在追赶波动——你还在烧废品，并且在本应稳定的步骤上浪费工程时间。 关键点 我们将光刻胶烘烤灯设计为基...