用于半导体的镀金红外灯
如何避免金涂层红外灯导致预算超支
在半导体制造厂中,我们需要精确控制温度。为此,我们会使用带有金涂层的短波红外灯。金层的作用就是将热量反射到晶圆上,使其准确到达需要加热的位置。
不过,问题在于:在高真空或洁净室环境中工作时,任何细微的电气故障都可能带来严重后果。哪怕只有微小的电流泄漏,也足以毁掉整...
双管镀金灯管
别再浪费热量了:为什么镀金双管灯如此有效 在半导体晶圆加工过程中,能源的浪费其实就相当于白白浪费金钱。如果热量散失到腔体壁中,而非作用于晶圆上,那无疑是一种损失。而这时,镀金双管灯就能派上用场了。
黄金的作用
普通石英灯会将辐射向各个方向散发,效率很低。但如果在灯管背面加上一层薄薄的黄金涂层,情况...