SRD 旋转漂洗干燥机 红外灯

在制造车间，SRD循环是产量形成的关键点——或者是产量悄悄流失的地方。一次冲洗如果留下微小液滴，或者一次干燥使晶圆产生应力，就会转化为缺陷和废品。你Spin Rinse Dryer里的红外灯不仅仅是加热器，它是设定干燥边界的热致动器。如果输出波动或均匀性失控，光刻和光刻胶处理中的重复性也会随之丧失...