防止晶圆干燥过程中石英管破裂 说实话，当晶圆生产过程中红外灯发生爆炸时，那可不仅仅是“维护问题”——那简直就是一场灾难。玻璃碎片和卤素气体会直接溅到晶圆上，一旦灯管爆炸，整批晶圆就报废了。因此，我们非常注重数字式红外控制器以及灯管的制造工艺，力求避免这种事故发生。 保持低温且防止损坏 通常情况下，...

在芯片制造过程中，即便晶圆上的温度只有0.1°C的差异，也足以导致关键尺寸出现纳米级的变化，同时还会增加颗粒数量。传统的加热板和对流式烤箱很难在软烘和硬烘过程中保持温度的均匀性，容易引发气体释放或光阻层质量问题。正因如此，人们才发明了近红外晶圆干燥机，以此来解决这一难题。 从技术层面来看，重要的是...