에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

왜 웨이퍼 가열기의 전기 안전에 그렇게 신경을 쓰는가? 실리콘을 다룰 때는 “충분히 안전하다”는 개념 자체가 없습니다. 약간의 전기 누설도 단순한 문제가 아닙니다. 그로 인해 전체 웨이퍼가 망가질 수 있으며, 시스템 전체가 작동하지 않을 수도 있습니다. 그래서 우리는...