웨이퍼 오염을 사전에 막는 방법
바이오센서 제조 과정에서 단 하나의 램프가 고장 나는 것도 문제지만, 그보다 더 심각한 것은 해당 챔버 내의 모든 웨이퍼들이 폐기물이 되어버리는 것입니다. 고부하 가열 과정에서 석영관은 열应력으로 인해 손상될 수 있습니다. 만약 관이 깨지면 유리 조각과 할로겐 가스가 기판 위로 떨어집니다. 우리는 이러한 상황을 방지하기 위해 특별히 설계된 적외선 램프를 사용합니다.
오염 물질을 안에 가두는 방법
우리는 그러한 극심한 온도 변화에도 견딜 수 있는 강화된 석영재를 사용합니다. 하지만 그걸로 끝이 아닙니다. 우리는 보호용 커버도 추가했습니다. 이 커버는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 필라멘트가 망가지거나 석영관이 깨지면, 이 커버가 파편들을 가두어 줍니다. 그렇게 하면 웨이퍼에 아무것도 떨어지지 않고, 생산 효율도 보장됩니다. 정말 간단한 원리입니다.
열 문제 해결하기
고부하 생산 과정에서는 “열점”이 발생할 수 있습니다. 유리가 너무 뜨거워지면 부드러워집니다. 이를 해결하기 위해 우리는 전체 램프에 걸리는 전력을 균등하게 분배하여 위험한 온도 상승을 방지합니다. 또한 정밀한 전극을 사용하여 아크가 안정적으로 유지되도록 합니다.
하지만 주의해야 할 점은, 램프를 계속 최대 성능으로 작동시키면 석영관이 손상될 수 있다는 것입니다. 이는 단순한 물리학적 현상입니다. 따라서 정기적으로 램프를 교체해주는 것이 중요합니다. 계획적인 교체에 10분만 투자하는 것이 계획되지 않은 다운타임을 처리하는 것보다 훨씬 낫습니다.
클린룸 환경에서의 사용
또한, 처음 몇 시간 동안 증발할 수 있는 휘발성 접착제나 용제도 사용하지 않습니다. 그렇게 하면 진공 상태나 통제된 환경이 유지됩니다.
램프를 설치할 때 한 가지 팁을 드리자면, 냉각 팬이 램프의 끝부분에서 열을 제거할 수 있도록 해야 합니다. 만약 연결부가 과열되거나 유리가 극심한 온도 변화를 겪으면 균열이 생길 수 있습니다. 잘 시원하게 유지한다면 램프도 잘 작동할 것입니다.