もう、ヒーターを待っているだけの状態はやめましょう。なぜなら、赤外線加熱の方がホットエアよりも優れているからです。
依然として、多くの半導体製造ラインでホットエアを使っているのを見かけます。これは古いやり方であり、正直、非効率的です。
最大の問題は、待つ時間です。空気は熱を伝えるのが非常に悪いのです。基板が適切な温度になるまで、何分も待たなければなりません。実際には、部品が感じる前に部屋全体を温めようとしているわけです。これは時間の無駄です。
速くするための近道
赤外線加熱なら、その問題を解決できます。空気を使う代わりに、赤外線エミッターが直接材料にエネルギーを与えます。これは、部屋が暖まるのを待つのと、太陽光の下に立つのとの違いです。
数分待つ代わりに、数秒で済みます。大量生産を行う場合、これは大きなメリットです。電気代を節約するだけでなく、作業時間も取り戻せます。
配線が溶けないように
ただし、赤外線ヒーターは非常に高温になります。そのため、標準的なPVCやシリコン製の配線を使うと問題が起こります。それらは溶けたり、ガスを放出したりします。これはクリーンルームでは絶対に避けたいことです。そのため、私たちはテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用します。これなら、高温に耐えられ、エッチングやデポジションで発生する有害な化学物質の影響も受けません。
妥協点
もちろん、赤外線加熱も万能ではありません。単にヒーターを交換すればいいわけではありません。赤外線は直線的に作用するため、ランプの配置には注意が必要です。少しでも位置がずれると、ウェハーの一部が冷たくなってしまいます。また、加熱が急激に行われると、熱衝撃のリスクもあります。そのため、PIDコントローラーを使って、温度が過剰に上がらないようにする必要があります。
新しい製造ラインを計画するなら、赤外線加熱が最適です。これにより、熱遅延という問題を解決できます。ただし、6ヶ月後にケーブルが壊れないように、必ずPTFEコーティングされた配線を使用しましょう。