अपने गोल्ड-कोटेड आईआर लैंपों को बजट को नुकसान पहुँचाने से कैसे बचाएं?
सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में, हमें एक विशिष्ट तापमान स्तर हासिल करना होता है। इसके लिए हम गोल्ड-कोटेड शॉर्टवेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं। सोने की परत, ऊष्मा को सीधे वेफर पर भेजने में मदद करती है।
लेकिन यहाँ समस्या यह है कि जब हम उच्च-वैक्यूम या क्लीनरूम वातावरण में काम करते हैं, तो हमें बहुत ही सावधान रहना होता है। थोड़ी सी भी विद्युत लीकेज से पूरा वेफर नष्ट हो सकता है… यह तो कोई भी नहीं चाहेगा।
सोना एवं क्वार्ट्ज
हम क्वार्ट्ज की सतह पर पतली सोने की परत लगाते हैं; ताकि यह इन्फ्रारेड विकिरण को दर्पण की तरह परावर्तित कर सके। इससे ऊर्जा एकत्र हो जाती है, एवं लैंप का आवरण बहुत गर्म नहीं होता।
यह तो सरल लगता है, लेकिन इस परत को बिल्कुल सही होना आवश्यक है। यदि इस परत में कोई छोटा सा छेद हो जाए, तो वहाँ गर्म बिंदु बन जाते हैं… और इससे लैंप की इंसुलेशन क्षमता भी प्रभावित हो जाती है। दरअसल, कोई भी दोष एक बड़ी समस्या बन सकता है।
हम हर लैंप की जाँच क्यों करते हैं?
हम “स्पॉट चेक” नहीं करते… हम सौ लैंपों में से कुछ ही लैंपों की जाँच करके संतुष्ट नहीं हो जाते। हमारी फैक्ट्री से निकलने वाला हर लैंप, हाई-पोटेंशियल एवं इंसुलेशन रेजिस्टेंस टेस्ट से गुजरता है। हम इंसुलेशन की क्षमता को चरम सीमा तक ले जाते हैं… ताकि फिलामेंट से सोने की सतह तक कोई विद्युत प्रवाह न जा सके।
यदि इस परत में कोई सूक्ष्म दरार हो जाए, तो लैंप विफल हो जाता है… बस।
हम ऐसा इसलिए करते हैं, ताकि ऐसी गलतियाँ शुरुआत में ही पता चल जाएँ… ताकि PID कंट्रोलरों को कोई परेशानी न हो।
कुछ वास्तविक चेतावनियाँ
उच्च-वॉटेज वाले लैंप बहुत अच्छे होते हैं… क्योंकि वे जल्दी ही ऊष्मा उत्पन्न करते हैं… जो कि हमारी प्रक्रिया के लिए आवश्यक है। लेकिन इससे लैंप के कनेक्टरों एवं अन्य हिस्सों पर बहुत दबाव पड़ता है।
ध्यान रखें: आपके पावर सप्लाई का वोल्टेज एवं वॉटेज विनिर्देश बिल्कुल सही होना चाहिए।
अधिक वोल्टेज देकर और अधिक ऊष्मा प्राप्त करने की कोशिश करना गलत है… इससे फिलामेंट नष्ट हो जाएगा… एवं हमारी मेहनत भी व्यर्थ हो जाएगी। साथ ही, अपनी कूलिंग सिस्टमों की भी अच्छी तरह जाँच करें… ताकि गोल्ड कोटिंग द्वारा न रोकी गई ऊष्मा को संभाला जा सके।